在硅系列太陽能電池中，哪一類的電池是轉換率最高的呢?不容質疑，那就是單晶硅大陽能電池，它不但轉換率最高，同時技術也是最為成熟的。而高性能的單晶硅電池則是建立在高質量的單晶硅材料以及相關的成熱的加工處理工藝基礎上的。　　 如今單晶硅的電地工藝以及變得越來越成熟，因為在之前的電池制作中，一般都是采用表面織構化、發射區鈍化、分區摻雜等各類技術的，而且開發的電池主要都是由平面單晶硅電池以及刻槽埋柵電極單晶硅電池。　　 而要想提高轉化效率主要就是靠單晶硅表面的微結構處理以及分區摻雜工藝。而在這個方面，德國夫朗霍費費萊堡太陽能系統研究所就始終保持著世界領先水平。該研究所采用光刻照相技術將電池表面織構化，制成倒金字塔結構。同時在表面把13nm厚的氧化物鈍化層和兩層都減反射涂層相結合.進而通過改進的電鍍過程增加柵極的寬度和高度的比率：然后再通過以上所制得的電池轉化效率超過23%，最大值可達23.3%。　　 就目前來說，Kyocera公司所制備的大面積(225cm2)單電晶太陽能電池轉換效率能夠達到19.44%，平面高效單晶硅電池(2cm X 2cm)轉換效率則達到19.79%，而刻槽埋柵電極晶體硅電池(5cm X 5cm)轉換效率可以達8.6%。　　 因此，總的來說，單晶硅太陽能電池轉換效率自然就是最高的，這也使得它在大規模應用以及工業生產中還是占據的非常重要的地位。